光學(xué)微電子實(shí)驗(yàn)室一般需要潔凈的環(huán)境， 所以其設(shè)計(jì)裝修要以潔凈度和溫濕度為主要技術(shù)需求。

　　一、光學(xué)微電子實(shí)驗(yàn)室平面布局設(shè)計(jì)要求

　　1. 潔凈區(qū)：潔凈等級(jí)設(shè)置為百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)

　　2. 無(wú)塵輔助用房：潔凈等級(jí)設(shè)置為萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)，一般包括人流進(jìn)出潔凈用房，物料進(jìn)出清潔區(qū)和部分辦公生活區(qū)等。

　　3. 超凈凈化房間管理區(qū)：潔凈等級(jí)設(shè)置為十萬(wàn)級(jí)或三十萬(wàn)級(jí)，一般包括辦公室、會(huì)議室、值班室和休息區(qū)。

　　4. 專(zhuān)用設(shè)備區(qū)：該區(qū)域?qū)諝鈨艋燃?jí)沒(méi)有要求，但要求與凈化車(chē)間設(shè)置有效的物理或空氣隔離，本區(qū)域主要設(shè)置凈化空調(diào)機(jī)房、電氣用房、純水間、用氣間。

　　二、光學(xué)微電子實(shí)驗(yàn)室裝修施工要求

　　1. 吊頂材料：采用FFU盲板或選用防火彩鋼板，吊頂內(nèi)須可上人，對(duì)承重要進(jìn)行詳細(xì)技術(shù)。

　　2. 墻體裝修材料：采用防火彩鋼板，彩鋼板厚度為50mm，可以盡量有效的適用場(chǎng)地的占地面積，該彩鋼板在安裝時(shí)需要進(jìn)行接地處理，以到達(dá)排放靜電的功能。

　　3. 地面裝修：一般選用環(huán)氧自流平或PVC卷材，但無(wú)塵房間內(nèi)須對(duì)上述兩種材料進(jìn)行抗靜電處理。

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